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03

2026

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06

MEMS结构侧壁垂直度不良，白光干涉仪研判微结构成型故障

侧壁垂直度是MEMS微沟槽、悬臂梁等微结构的核心成型指标，直接决定器件键合精度、力学与电学性能。光刻、干法刻蚀等工序异常，易引发侧壁倾斜、顶部扩口、底部缩径等缺陷...

03

2026

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06

白光干涉仪在钙钛矿光伏激光划线工艺的精密测量应用

一、钙钛矿光伏激光划线死区损耗痛点钙钛矿光伏组件规模化量产中，P1-P2-P3激光划刻工艺形成的沟槽区域为电池发电死区，仅承担电路隔离与导通作用，无光电转换能力，...

02

2026

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06

微透镜表面粗糙度白光干涉解析及工艺优化方案

一、行业痛点与检测瓶颈表面粗糙度是决定微透镜透光率、抗散射性能与成像精度的核心指标，广泛应用于半导体、精密光学领域的微透镜，多顺利获得注塑、模压、纳米压印工艺成型。生...

02

2026

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06

白光干涉仪超光滑样品微观缺陷识别与晶圆检测技术应用

一、超光滑样品加工检测痛点超光滑样品广泛应用于精密光学器件、半导体基底、激光传输元件等高端制造领域，其加工质量直接决定器件光学性能与服役寿命。样品在研磨、抛光、清...

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